ジェイテクトは、特殊環境用EXSEV軸受シリーズのラインナップに、300℃まで使用可能なグリース封入軸受を追加した。
これにより、半導体製造装置などの、耐熱性が求められる設備の長寿命化を実現し、メンテナンスコストの低減などに貢献するとしている。
同製品は、12月12日（水）から14日（金）に東京ビッグサイトで開催されるエレクトロニクス製造サプライチェーン総合展示会「SEMICON JAPAN 2018」で展示される。
近年、半導体製造装置では、製造プロセスの短縮化に伴い装置内の温度が高温になる傾向があると云う。
従来のグリースは、200℃を超えると油分の蒸発が増え、増ちょう剤の熱分解が発生して使用できなくなるため、高温環境下では、固体潤滑剤が使用されていた。しかし、固体潤滑剤は寿命が短いため、メンテナンス期間が短いという課題があり、更に高い耐熱性・耐久性を備えた特殊環境用軸受の開発が必要とされていた。
ジェイテクトでは、今回、蒸発しにくい基油と熱分解に強い増ちょう剤を組み合わせたグリースの使用により、300℃まで使用可能なグリース封入軸受を開発。
従来の固体潤滑剤と比較して、その寿命は6倍以上。耐熱性が求められる設備でのメンテナンスコストの低減と作業の効率化に貢献するとしている。
[販売計画]
– 量産開始：2018年12月予定
– 売上目標：20百万円/年
– 販売先：半導体製造装置メーカー等
[製造工場]
徳島工場、国分工場、亀山工場、ダイベア株式会社（弊社グループ会社）
■（ジェイテクト）Koyoブランド SEMICON JAPAN 2018 特設ページ：https://koyo.jtekt.co.jp/exhibition/semicon2018/?_ga=2.139725940.670367976.1544067742-1203714439.1544067742